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产品详情
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  • 产品型号:CY-OTF-1200X-III-PE300-RR
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
卷对卷PECVD石墨烯制备设备主要应用于计算机和智能手机屏幕,超轻、柔性的太阳能电池,以及新型的发光设备和其他薄膜电子产品
详情介绍:

卷对卷式PECVD是一套卷对卷石墨烯制备管式炉系统,设备由卷对卷铜箔收放密封装置、1200°C三温区管式炉、 真空机组3部分组成。此设备可用于大面积、高质量石墨烯及其他二维材料的规模化生长。

卷对卷式PECVD应用范围:

计算机和智能手机屏幕,超轻、柔性的太阳能电池,以及新型的发光设备和其他薄膜电子产品领域。

卷对卷PECVD技术参数:

性能指标和基本配置

产品名称

卷对卷式PECVD

产品型号

CY-OTF-1200X-III-PE300-RR

1000W等离子源

● 输出功率:50-1000W*大可调±1%
● RF频率: 13.56MHz,稳定性±0.005%
● 噪声:≤55DB
● 冷却:风冷
● 输入功率:1KW  AC 220V

三路质子流量计控制系统

● 电压:AC220V/50Hz
● 功率:23W
● PLC触摸屏控制
● 混气罐尺寸:φ80*120mm
● 工作温度:5~45℃
● *大压力: 3x106 Pa
● 精度: ±1.5% FS
● 线性: ±(0.5-1.5)%F.S.
● 重复精度: ±0.2%F.S.
● 流量范围:
● 一路: 1~50 SCCM (甲烷标定)
● 二路: 1~200 SCCM (氢气标定)
● 三路: 1~200 SCCM (氩气标定)
气体种类标定根据客户要求可以进行其它选择

真空测量单元

● 型号:PCG-800
● 显示范围:3.8E-5 to 1125 Torr
精度:
● 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50
● 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15
● 100 … 950 mbar % of reading ±5
● 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5

低真空机组(标配)

● 由双旋机械泵、双层立式油雾过滤器(PE材质)、电阻真空计以及连接管道接头等组成
● 真空泵抽气速率≥4.4L/s
● 极限真空度10-1Pa
● 真空计测量范围10-1Pa-105 Pa

卷对卷铜箔收放密封装置

● 采用卷对卷收放卷机构进行铜箔的移动进出料,铜箔的移动速度为1-400mm/min可调;
● 配置一卷测试铜箔

● 收放卷机构别放置于管式炉两端真空腔体内,保证铜箔可在密封生长条件下进行运动,实现大规模制备 。
● 收卷机构与管式炉之间设置冷却装置用于铜箔的快速冷却。

产品尺寸

大约2400*800*1250mm

产品重量

大约720kg

质量认证

电器元件可选择通过CE认证

保修期

一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


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